射频电源匹配器一体机    

    600W-1.5kW射频电源系列    

    3kW-20kW射频电源系列    

应用领域及行业：
半导体工艺设备、等离子体处理、材料表面改性、LED与‌太阳能光伏产业‌、科学实验、医疗美容、常压等离子体消毒清洗等

等离子体清洗、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体刻蚀、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、薄膜沉积、硅晶镀膜等

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        固态功率源                          自适应匹配器