您的当前位置:首页 - 产品系列 - 微波能量应用领域 - 射频电源系列 - 射频电源
射频电源匹配器一体机
产品概述

一体机.jpg

射频电源风冷系列(600-1.5kW)
产品概述

风冷.jpg

射频电源水冷系列(3kW-20kW)
产品概述

水冷2.jpg

  

商业应用

应用领域及行业:
半导体工艺设备、等离子体处理、材料表面改性、LED与‌太阳能光伏产业‌、科学实验、医疗美容、常压等离子体消毒清洗

等离子体清洗、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体刻蚀、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、薄膜沉积、硅晶镀膜等


更多产品

750M  200kW  400kW  固态功率源-方形.png                ADP13060P-1 压缩.jpg


        固态功率源                          自适应匹配器