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射频电源匹配器一体机
产品概述

600W 射频电源一体机 正面 3 13.56 压缩.jpg

   DX-RFM-13/27/40XXX系列射频电源匹配器一体机将射频电源和匹配器集成到一台设备中，结构紧凑，体积小，安装使用便捷。内置稳定可靠的信号源、功放模块及匹配器，能精确的测量入射和反射功率，可精准控制输出功率。广泛用于真空等离子体发生器、薄膜沉积等应用场景中。

关键特性

射频电源与匹配器一体化设计，结构紧凑，便于运输与安装

全数字化处理，匹配精度高，响应速度快

输出功率余量大，可长期稳定运行

能精确测量输出功率、反射功率及匹配阻抗

支持自动增益控制(AGC)，实现输出功率精确调控

支持本地控制、10控制以及通过RS485和RJ45远程控制

采用先进功率放大技术，支持从最小到最大功率的连续调节

具有电弧抑制功能，能够快速检测电弧并进行智能灭弧处理

支持过载、过流及过热保护


技术指标

技术项目参数指标
300W600W
输入电源特性输入电压AC 220V士10%
频率50Hz/60Hz
输出频率13.56/27.12/40.68MHz
输出功率调节范围5W-300W10W-600W
额定输出功率300W600W
最大反射功率60W120W
效率≥60%(Z=500Ω，额定输出)
谐波<-50dBc
杂散<-50dBc
功率稳定度1%设置功率或0.1%最大功率(取最优值)
射频输出接口L29(母头)
保护功放电源过压-超过设定值时保护停机
功放电源过流-超过设定值时保护停机
功放电源过热-超过设定值时保护停机
功放过热功放温度超过设定报警值时保护停机
反向功率超限反射功率超过设定阀值保护限制输出功率
外部锁定外部互锁接口未连接时保护停机
电弧检测保护检测到电弧现象时进行智能灭弧处理
冷却方式风冷
尺寸深*宽*高(mm)435*483*132500*483*132
匹配性能反射功率<1%
匹配方式自动/手动
匹配时间<2s


商业应用

半导体工艺设备、等离子体处理、材料表面改性、LED与‌太阳能光伏产业‌、科学实验、医疗美容、常压等离子体消毒清洗等

等离子体清洗、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体刻蚀、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、薄膜沉积、硅晶镀膜等