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射频电源水冷系列(3kW-20kW)
产品概述

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射频电源20kW.jpg

          德芯科技高性能射频电源采用高性能功放电路、高精度VI检测、全数字化高速功率控制,可实时显示输出、反射功率及负载阻抗,控制电路对功率进行快速动态调节可在负载变化时仍保持输出平稳,支持连续、脉冲输出及相位同步功能,且具有快速电弧检测及抑制能力,能有效的保护负载及电源本身。可广泛应用于半导体、光伏、显示面板、等离子科研等领域。

关键特性

采用先进高效率、高稳定性射频功放技术

采用高速全数字化处理,响应速度快,输出功率平稳

输出功率余量大,能够长期稳定运行

能精确测量输出功率、反射功率和负载阻抗

支持自动增益控制(AGC),实现输出功率的精准控制

支持本地控制、I0控制以及通过RS485和EtherCat远程控制

采用先进的功率放大器技术,支持从最小到最大功率的连续调节

具有电弧抑制功能,能够快速检测电弧并进行智能灭弧处理

具有动态频率调谐(DFT)功能

支持过载、过流和过热保护


射频电源风冷系列(600-1.5kW)
产品概述

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     德芯科技高性能射频电源采用高性能功放电路、高精度VI检测、全数字化高速功率控制,可实时显示输出、反射功率及负载阻抗,控制电路对功率进行快速动态调节可在负载变化时仍保持输出平稳,支持连续、脉冲输出及相位同步功能, 且具有快速电弧检测及抑制能力,能有效的保护负载及电源本身。可广泛应用于半导体、光伏、显示面板、等离子科研等领域。

关键特性

采用先进高效率、高稳定性射频功放技术

采用高速全数字化处理,响应速度快,输出功率平稳

输出功率余量大,能够长期稳定运行

能精确测量输出功率、反射功率和负载阻抗

支持自动增益控制(AGC),实现输出功率的精准控制

支持本地控制、I0控制以及通过RS485和EtherCat远程控制

采用先进的功率放大器技术,支持从最小到最大功率的连续调节

具有电弧抑制功能,能够快速检测电弧并进行智能灭弧处理

支持过载、过流和过热保护