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13.56/27.12MHz ICP专业型自动匹配器(3kW-20kW)
产品概述

ADP13120P-I 12kW 匹配器.jpg   

ADP13200P-I 1.jpg

    ADP13/27XXXP-I系列ICP专业型自动匹配器适用于ICP型负载，外形尺寸更小，更便于安装。采用高精度的VI测量技术、采用高速FPGA进行阻抗计算及进行匹配调节控制，可以实现极快速的匹配调节及极高的匹配精度，匹配状态下可实时跟踪负载阻抗变化并进行实时调节，反射功率可保持小于1%o输入功率。该设备具有匹配速度快、匹配精度高等优点。


关键特性

针对ICP型负载设计，外形尺寸更小

先进的匹配算法，可直达匹配点，无反复过程，匹配时间短

采用先进VI检测技术，匹配精度高，匹配后反射功率低于1%。

输出具有VI检测，可实时检测输出的电压、电流及负载阻抗等参数

支持脉冲工作模式，脉冲信号下仍可快速正确匹配

对快速周期性波动负载(如旋转工作的大功率镀膜机)进行匹配算法优化，最大程度降低反射功率

通过专业的监测软件，可实时监测匹配后阻抗(Smith圆图)、输入、反射功率变化曲线

技术指标

参数项目技术指标

ADP13030P-I / ADP27030P-I

ADP13060P-I / ADP27060P-I

ADP13120P-1 / ADP27120P-I

ADP13200P-I  / ADP27200P-I

工作频率13.56MHz/27.12MHz


输入接口L29(母头)L29(母头)7/8"EIA法兰1-5/8"E1A法兰
输出接口铜排或定制接口


传输功率3kW6kW12kW20kW
最大电压3000Vpeak6000Vpeak9000Vpeak9000Vpeak
最大电流30Arms60Arms90Arms120Arms
输出VI检测输出电压、电流、负载阻抗检测
反射功率≤1W或‌1‰输入功率
匹配时间≤2s,预设匹配点≤0.5s
脉冲模式100Hz-30kHz，占空比1-99%(打开/关闭时间最小12us)
目标阻抗50Ω

尺寸(长*宽*高mm)

333*240*140370*260*162380*330*180460*420*224
冷却方式风冷风冷

风冷+水冷(水流量≥8L/min)

风冷+水冷(水流量≥8L/min)

远程接口RS485/RJ45
工作电压AC 220V+10%,50/60Hz
工作温度
+5°C至+40°C


选型指南

型号/指标功率适用CCP及ICP负载仅适用ICP负载脉冲功能匹配反射功率<1‰负载阻抗检测
ADP13015/ADP270151.5kW√



ADP13030/ADP270303kW√



ADP13060/ADP270606kW√



ADP13015P/ADP27015P1.5kW√
√√
ADP13030P/ADP27030P3kW√
√
√
ADP13060P/ADP27060P6kW√
√
√√
ADP13120P/ADP27120P12kW√
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ADP13200P/ADP27200P20kW√
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ADP13060P-I/ADP27060P-I6kW
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ADP13120P-I /ADP27120P-I12kW
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ADP13200P-I /ADP27200P-I20kW
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13.56/27.12MHz专业型自动匹配器(1.5kW-20kW)
产品概述

ADP13120P-12kW专业型-已处理.jpg

ADP13060P.jpg


    ADP13/27XXXP系列专业型自动匹配器适用于半导体刻蚀、薄膜沉积、光伏LED等需要高性能高精度的应用场景。采用高精度的VI测量技术、采用高速FPGA进行阻抗计算和匹配调节控制，可以实现极快速的匹配调节及极高的匹配精度，匹配状态下可实时跟踪负载阻抗变化并进行实时调节，反射功率可保持小于输入功率的1%。该设备具有匹配速度快、匹配精度高等优点。


关键特性

先进的匹配算法，可直达匹配点，无反复过程，匹配时间短

采用先进VI检测技术，匹配精度高，匹配后反射功率低于1%。

输出具有VI检测(6kW及以上型号)，可实时检测输出的电压、电流及负载阻抗等参数

支持脉冲工作模式，脉冲信号下仍可快速正确匹配

对快速周期性波动负载(如旋转工作的大功率镀膜机)进行匹配算法优化，最大程度降低反射功率

通过专业的监测软件，可实时监测匹配后阻抗(Smith圆图)、输入、反射功率变化曲线

技术指标

参数项目技术指标

ADP13015P

ADP27015P

ADP13030P

ADP27030P

ADP13060P

ADP27060P

ADP13120P

ADP27120P

ADP13200P

ADP27200P
工作频率13.56MHz/27.12MHz
输入接口N型（母头）L29(母头)L29(母头)7/8"EIA法兰1-5/8"E1A法兰
输出接口铜排或L29(母头)铜排或定制接口
传输功率1.5kW3kW6kW12kW20kW
最大电压3000Vpeak4500Vpeak6000Vpeak9000Vpeak9000Vpeak
最大电流

15Arms(L29)

30Arms(铜排)		45Arms60Arms90Arms120Arms
输出VI检测-输出电压、电流、负载阻抗检测
反射功率≤1W或‌1‰输入功率
匹配时间≤2s,预设匹配点≤0.5s
脉冲模式100Hz-30kHz，占空比1-99%(打开/关闭时间最小12us)
目标阻抗50Ω

尺寸

(长*宽*高mm)		400*260*132450*270*180420*300*178540*380*222540*460*244
冷却方式风冷

风冷+水冷

(水流量≥2L/min)

风冷+水冷

(水流量≥4L/min)

风冷+水冷

(水流量≥8L/min)

风冷+水冷

(水流量≥12L/min)
远程接口RS485/RJ45
工作电压AC 220V+10%,50/60Hz
工作温度+5°C至+40°C


13.56/27.12MHz自动匹配器(1.5kW-6kW)
产品概述

-2.jpg

ADP13015-1.5KW自动匹配器 2025-4月新版.jpg 

    ADP13/27XXX系列自动匹配器用于射频电源与各种等离子体负载之间，对负载阻抗进行自动调整，使之与射频电源的输出阻抗匹配，可以最大化保证功率传输和减少信号反射。该自动阻抗匹配器采用高精度的VI测量技术、高速FPGA处理芯片、高精度阻抗调节及跟踪控制算法，可以实现负载阻抗的快速测量和自动匹配调整。该设备具有匹配精度高、匹配范围宽和匹配速度快等优点，广泛应用于各种射频电源系统中。


关键特性

全数字控制，匹配精度高，匹配时间短

结构紧凑，体积小，安装便捷

具有手动/自动匹配功能

支持参数保存与预设功能

支持通信功能，可独立连接上位机显示实时负载状态

采用真空电容器，可靠性高，使用寿命长

宽匹配范围，可根据负载需求定制


技术特性

参数项目技术指标

ADP13015

ADP27015

ADP13030

ADP27030

ADP13060

ADP27060
工作频率13.56MHz/27.12MHz
输入接口N型（母头）L29(母头)
输出接口铜排或L29(母头)铜排或定制接口
传输功率1.5kW3kW6kW
最大电压3000Vpeak4500Vpeak6000Vpeak
最大电流

15Arms(L29)

30Arms(铜排)		45Arms60Arms
反射功率≤3W或‌1%输入功率
匹配时间≤2s,预设匹配点≤0.5s
目标阻抗50Ω
尺寸(长*宽*高mm)400*260*132400*350*155450*400*177
冷却方式风冷

风冷+水冷

(水流量≥2L/min)

风冷+水冷

(水流量≥4L/min)
远程接口RS485/RJ45
工作电压AC 220V+10%,50/60Hz
工作温度+5°C至+40°C


商业应用

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