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半导体专用射频电源（2kW-3kW）-半砖结构
产品概述

2kW 半砖射频电源 调亮压缩.jpg


半砖背面 压缩.png

关键特性

具有动态频率调谐(DFT)功能，随阻抗变化自动调谐频率进行阻抗匹配

智能电弧抑制功能，微秒级灭弧响应

强负载牵引能力，强反射时仍能维持输出功率

支持相位同步、联锁保护、反射超限保护

支持直流源过流、过压、过温保护


技术指标

参数项目
技术指标
RYZE 1320         /          RYZE 1330
输出频率13.56MHz±0.005%
动态频率调谐（DFT）+5% (12.882MHz-14.238MHz)
射频输出接口L29(母头)
IO端口
Analog(DB25母头)
通讯接口RS232/RS485 (DB9母头)、EtherCat
功率模式正向功率、负载功率
输出功率10-2000W         /         10-3000W
功率重复性1%
功率稳定度1%
功率因数≥0.92
最大反射功率额定功率的20%
拉偏特性@额定功率1.5@100%，2@75%(额定输出)
谐波≤‌-45dBc
杂散≤‌-60dBc
占空比1%-99%(最小开关时间5us)
脉冲频率1Hz-100kHz
整机效率≥65%@500
相位同步功能支持
保护功能过压、过流和过热保护，反射功率超限、外部锁定和电弧检测保护
冷却方式强制风冷、水冷
输入电压AC 380V+10%,50/60Hz
重量12.5kg
尺寸(深*宽*高mm)431*215*132



半导体专用射频电源(1kW)-半砖结构
产品概述

1.jpg



关键特性


具有动态频率调谐(DFT)功能，随阻抗变化自动调谐频率进行阻抗匹配

智能电弧抑制功能，微秒级灭弧响应

强负载牵引能力，强反射时仍能维持输出功率

支持相位同步、联锁保护、反射超限保护

支持直流源过流、过压、过温保护


技术指标


参数项目技术指标
输出频率13.56MHz±0.005%
动态频率调谐(DFT)士5% (12.882MHz-14.238MHz)
射频输出接口N型(母头)
IO端口Analog(DB25母头)
通讯接口RS232/RS485 (DB9母头)、EtherCat
功率模式正向功率、负载功率
输出功率
10-1000W
功率重复性1%
功率稳定度1%
功率因数≥0.92
最大反射功率
额定功率的20%
拉偏特性@额定功率1.5@100%， 2@75%(额定输出)
谐波≤-45dBc
杂散≤-60dBc
占空比
1%-99%(最小开关时间5us)
脉冲频率1Hz-100kHz
整机效率≥65%@50Ω
相位同步功能:支持
保护功能过压、过流和过热保护，反射功率超限、外部锁定和电弧检测保护
冷却方式风冷
输入电压AC 220V±10%,50/60Hz
重量11.8kg
尺寸(深*宽*高mm)496*215*132